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半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化機遇

張錦銳 2020.01.16

2020年1月,中微半導(dǎo)體獲得長江存儲9臺刻蝕機的訂單,代表著我國在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域有著長足的進步。當(dāng)前中美貿(mào)易爭端雖然有所緩解,但是大國博弈的趨勢仍然未改,半導(dǎo)體作為芯片制造的基石,我國雖以進行完善的產(chǎn)業(yè)布局,但部分領(lǐng)域尚未突破,半導(dǎo)體設(shè)備作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展重要的一環(huán),將迎來國產(chǎn)化發(fā)展機遇。


我國是全球第二大設(shè)備銷售市場,國產(chǎn)化需求突出

根據(jù)SEMI,我國大陸的半導(dǎo)體設(shè)備雖然只占全球市場份額的1%~2%,但是市場需求強勁,且呈快速增長趨勢,2018年我國大陸半導(dǎo)體市場銷售額達131億美元,首次超過臺灣,占據(jù)全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售量的15%,成為全球第二大設(shè)備市場。當(dāng)前我國巨大的半導(dǎo)體設(shè)備市場和極有限的設(shè)備輸出形成巨大的反差,設(shè)備的應(yīng)用方面依然依賴進口,作為信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心,集成電路已逐漸成為衡量一個國家或地區(qū)綜合競爭力的重要標志和地區(qū)經(jīng)濟的晴雨表,為擺脫美國在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的掣肘,我國半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化需求日益突出。



第三次半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移機遇,優(yōu)勢企業(yè)不斷受益

從全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展進程來看,全球已經(jīng)完成兩次明顯的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移,第一次是在20世界由美國轉(zhuǎn)向日本,第二次是80年代由韓國轉(zhuǎn)向臺灣,而第三次正逐漸轉(zhuǎn)向我國大陸。根據(jù)恒大產(chǎn)業(yè)研究院,近年我國大陸的集成電路產(chǎn)銷金額接近25%,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢迅猛,全球集成電路的產(chǎn)能正加速向我國大陸轉(zhuǎn)移,全球各大集成電路陸續(xù)在我國設(shè)立工廠和代工廠,2017-2020年間,全球共有62座晶圓廠投產(chǎn),其中26座位于中國,占據(jù)全球總數(shù)的42%。隨著晶圓廠支出景氣度的延續(xù),我國在測試設(shè)備、單晶硅生長設(shè)備、刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備領(lǐng)域具有行業(yè)領(lǐng)先優(yōu)勢的企業(yè)將持續(xù)受益。


本土企業(yè)奮力突破,多領(lǐng)域逆勢擴張

晶圓廠的生產(chǎn)分為多個階段,光刻、刻蝕、薄膜沉積、清洗、過程工藝控制等,對應(yīng)不同的生產(chǎn)工藝,半導(dǎo)體設(shè)備可分為多個生產(chǎn)領(lǐng)域,其中部分領(lǐng)域我國已經(jīng)取得較好的突破,其他領(lǐng)域也不斷進行技術(shù)攻堅。


——測試設(shè)備:部分企業(yè)已然崛起

半導(dǎo)體設(shè)備中,由于測試設(shè)備是更偏向于軟件的領(lǐng)域,憑借著在軟件技術(shù)領(lǐng)域的優(yōu)勢,測試設(shè)備成為國半導(dǎo)體設(shè)備最先突破的領(lǐng)域,目前以華峰、長川科技、中科飛測為代表,已在技術(shù)上取得了一定的突破,并利用成本優(yōu)勢與國際廠商在分離元器件測試、分選機等領(lǐng)域展開競爭,是當(dāng)前國內(nèi)市場競爭程度較高的一大領(lǐng)域。


——晶圓生產(chǎn)設(shè)備:國際巨頭已然把持市場,國內(nèi)企業(yè)奮力追趕

晶圓生產(chǎn)是半導(dǎo)體生產(chǎn)中較為重要的一環(huán),而光刻機和刻蝕機作為半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備,市場主要有國際巨頭把持,如光刻機領(lǐng)域,主要由荷蘭的ASML、日本尼康和佳能占據(jù)主要市場份額,刻蝕設(shè)備領(lǐng)域也是Lam Research(市占約為53%)、東電電子(市占約20%)和應(yīng)用材料(市占約19%)占據(jù)主要市場。當(dāng)前,上海微電子的光刻機已經(jīng)研制并順利通過驗收,成為我國光刻機的代表;刻蝕機以中微半導(dǎo)體、華創(chuàng)電子為代表推進刻蝕機技術(shù)不斷攻堅,國產(chǎn)化率不斷上升,成為晶圓生產(chǎn)設(shè)備中國產(chǎn)化率上升最快的半導(dǎo)體設(shè)備,目前中微半導(dǎo)體的7nm生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)進入臺積電的生產(chǎn)線。


除去上述半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備外,我國在清洗設(shè)備領(lǐng)域,北方華創(chuàng)和至純科技也均有突破,晶盛機電的單晶爐、凱世通的離子注入機等也取得了不錯的業(yè)績。但我國半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化率只有15%,國產(chǎn)化率仍待突破,而且缺乏量產(chǎn)10nm,和在14nm和28nm領(lǐng)域突破的廠商,并在產(chǎn)品的穩(wěn)定性領(lǐng)域與國際巨頭還存在一定的差距,需要長時間的突破和積累。

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